直流電源
直流磁控電源供應器
ATN POWER 提供先進的直流電源等離子應用； 可分為標準產品，或根據您的具體應用。 電源可以是單輸出或多輸出直流電源，能夠快速地抑制電弧儲能和低電弧。標準功率範圍：0.5-20KW，電源產品採用強制風冷或水冷。
產品特色
- 短路、過載和電弧保護。
- 低電弧儲能。
- 高正常運行時間和產品生命週期。
產品應用
- 適用於濺射、反應濺射設備和PVD、偏壓濺射設備。
- 適用於蝕刻設備和電鍍設備。
- 表面活性劑、電磁鐵、等離子清洗。
產品規格
單極脈衝偏壓電源供應器
產品特色
- 具有自動降壓特性的穩流功能。
- 抑制目標輝光放電和短路功能。
- 顯著改善目標表面電荷積累現象； 減少電弧濺射表面的次數，提高鍍層質量。
- 保證目標表面清潔的穩定性，同時也提高了目標表面清潔的速度。
產品應用
- 適用於金屬、合金及石墨等靶材電鍍金屬膜、碳膜及氧化物及碳化物膜。
產品應用
用於金屬、合金及石墨等靶材電鍍金屬膜、碳膜及氧化物及碳化物膜。
產品規格
離子源控制器電源供應器
使用 Mark III+ 離子源控制器最大限度地提高離子源性能和薄膜蝕刻、清潔和沈積均勻性。 由 ATN Power 設計，專門匹配離子源的等離子體特性，有助於確保高效的工藝運行和離子束輸出的精確控制。
產品特色
- 最先進的開關電源..
- 提供穩定可靠的電力，實現高度均勻和穩定的離子束工藝。
- 易於設置，用戶界面。
- 綜合氣體控制。
- 用於表面預清潔和輔助等應用, 需要大電流、低能量離子的沉積。
- 非常適合精密或工業光學鍍膜環境。
產品規格
